State Research Center OPTIMAS

Vakuumtechnologie

Die Vakuumtechnik ist ein stark wachsender industrieller Bereich (Halbleiter, Beschichtung, MEMS, Nanotechnik). Viele technische Prozesse und große Forschungsanlagen werden unter Vakuum betrieben und erfordern daher vom Betreiber ein solides Wissen von vakuumtechnischen Zusammenhängen.
Innerhalb des Kurses werden die physikalischen Grundlagen sowie die Fähigkeit und das nötige Rüstzeug vermittelt um Vakuumsysteme richtig auszulegen. Weiter werden anhand von modernen Oberflächenanalyse-Instrumenten praktische Beispiele zur Erzeugung von UHV-Messbedingungen vorgeführt.

• Vakuum – Grundlegende Begriffe
• Vakuumpumpen (mechanische Pumpen, kinetische Pumpen, Akkumulationspumpen)
• Vakuuminstrumente (Partial- und Totaldruckmessung)
• Restgasanalyse
• Lecksuche
• Vakuumströmung
• System Design (Leitwert, Gasabgabe, Dichtungen, Oberflächen, Reinheit)
• Auslegung von Vakuumsystemen
• Beispiele großer Vakuumsysteme
• Anwendungen

Kursleitung: Dr.-Ing. Christian Day (Bereichsleiter Vakuumtechnik, KIT-Institut für Technische Physik, Karlsruhe)
Ort: Institut für Oberflächen- und Schichtanalytik IFOS, Trippstadter Straße 120, 67663 Kaiserslautern (Raum 05.08)
Kurstermin:
24.02.2015 von 9:30 Uhr bis 12:30 Uhr und
03.03.2015 von 9:30 Uhr bis 12:30 Uhr und
10.03.2015 von 9:30 Uhr bis 12:30 Uhr
Teilnehmerzahl: mindestens 5

Anmeldungen bis spätestens 20.02.2015 über:
Ulrike Asal
Institut für Oberflächen- und Schichtanalytik GmbH
asal(at)ifos.uni-kl.de

Die Teilnahme ist kostenlos. Wir freuen uns auf rege Teilnahme.

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