Einführung in die Plasma‐ und Beschichtungstechnologie
Schulung 2: Donnerstag 13.6.2024, 13:00 Uhr
In diesem Kurs wird eine kompakte Einführung in die Plasma‐ und Beschichtungstechnologie gegeben. Es werden die erforderlichen Grundlagen in anschaulicher Weise gelegt und auch die neuesten Entwicklungen berücksichtigt. Ein zentrales Element für die Prozesse der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) stellt das Plasma, insbesondere das Niederdruckplasma dar. Nach der Präsentation der grundlegenden plasmaphysikalischen Aspekte wird auch die gezielte Manipulation des Plasmas mit elektrischen und magnetischen Feldern behandelt und vertiefend auf das Magnetronzerstäuben und das Lichtbogenverdampfen eingegangen. Die Plasmadiagnostik stellt ein sehr mächtiges Instrument zur Prozesskontrolle und zur Aufskalierung dar und ist essentiell für das Verständnis von Plasma‐Wand‐Wechselwirkungen wie beispielsweise für die Zerstäubungsprozesse. Einen weiteren Schwerpunkt bilden Computersimulationen zum Schichtwachstum, mit deren Hilfe sich viele Prozesse modellieren und anschaulich darstellen lassen. Abschließend werden die Strukturzonen‐ Modelle näher betrachtet und erklärt.
Themenübersicht:
- Einführung in die Plasmaphysik
- Wechselwirkung elektrischer und magnetischer Felder mit Plasmen
- Magnetronzerstäuben und Lichtbogenverdampfen
- Plasmadiagnostik
- Zerstäubungstheorie
- Computersimulationen zum Schichtwachstum
- Strukturzonen‐Modelle
Kursleitung: Prof. Dr. Sven Ulrich (Institut für Angewandte Materialien (IAM‐AWP) ‐ Karlsruher Institut für Technologie KIT)
Ort: Institut für Oberflächen‐ und Schichtanalytik IFOS
Trippstadter Straße 120, 67663 Kaiserslautern (Raum 05.08)
Diese Veranstaltung findet statt im Rahmen eines nationalen Workshops mit Schulungen zur "Angewandten Oberflächentechnik", veranstaltet von der Deutschen Vakuum Gesellschaft DVG e.V. in Zusammenarbeit mit der IFOS GmbH unter Unterstützung von OPTIMAS an der RPTU‐Kaiserslautern‐Landau und dem Karlsruher Institut für Technologie KIT.
Der nationale Workshop der DVG informiert in seinen vier Schulungsveranstaltungen über wichtige Schlüsseltechnologien der modernen angewandten Oberflächentechnik. Dazu werden vier Einzel‐Kurse angeboten. Die Kurse sind jeweils Einzel, in Kombination oder als kompletter Block zu besuchen.
Eingeladen sind alle interessierten Master‐ und Promotionsstudierenden des KIT und der RPTU Kaiserslautern‐Landau, alle Kundinnen und Kunden, Forschungspartnerinnen und -partner des IFOS und des KIT, sowie alle Mitglieder, Freunde und Gönner der DVG.
Die Kurse werden jeweils als Blockvorlesungen von 2x 90min an einem Nachmittag mit Start um 13 Uhr im großen Seminarraum am IFOS in der Trippstadter‐Straße 120, 67663 Kaiserslautern stattfinden.