Einführung in die Vakuumtechnik
Schulung 1: Dienstag 4.6.2024, 13:00 Uhr
Die Vakuumtechnik wird in vielen industriellen Bereichen (z.B. Halbleiter, Beschichtung, Oberflächenanalyse) aber auch in großen Forschungsanlagen der Grundlagenforschung zunehmend wichtiger. Das Design, die Auslegung und der Betrieb dieser Anlage erfordert ein fundiertes Wissen der vakuumtechnischen Zusammenhänge und der physikalischen Grundlagen. Innerhalb des Kurses werden die Grundlagen vermittelt, um Vakuumsysteme richtig auszulegen und zu betreiben. Außerdem werden Beispiele von existierenden Anlagen vorgestellt, die im Ultrahochvakuum‐(UHV)‐Bereich zuverlässig arbeiten.
Themenübersicht:
- Vakuum – Grundlegende Begriffe
- Vakuumpumpen (mechanische Pumpen, kinetische Pumpen, Akkumulationspumpen)
- Vakuuminstrumente (Partial‐ und Totaldruckmessung)
- Restgasanalyse
- Lecksuche
- Vakuumströmung
- System Design (Leitwert, Gasabgabe, Dichtungen, Oberflächen, Reinheit)
- Auslegung von Vakuumsystemen
- Beispiele großer Vakuumsysteme
- Anwendungen
Kursleitung: Dr. Joachim Wolf (Institut für Astroteilchenphysik (IAP) ‐ Karlsruher Institut für Technologie KIT)
Ort: Institut für Oberflächen‐ und Schichtanalytik IFOS
Trippstadter Straße 120, 67663 Kaiserslautern (Raum 05.08)
Diese Veranstaltung findet statt im Rahmen eines nationalen Workshops mit Schulungen zur "Angewandten Oberflächentechnik", veranstaltet von der Deutschen Vakuum Gesellschaft DVG e.V. in Zusammenarbeit mit der IFOS GmbH unter Unterstützung von OPTIMAS an der RPTU‐Kaiserslautern‐Landau und dem Karlsruher Institut für Technologie KIT.
Der nationale Workshop der DVG informiert in seinen vier Schulungsveranstaltungen über wichtige Schlüsseltechnologien der modernen angewandten Oberflächentechnik. Dazu werden vier Einzel‐Kurse angeboten. Die Kurse sind jeweils Einzel, in Kombination oder als kompletter Block zu besuchen.
Eingeladen sind alle interessierten Master‐ und Promotionsstudierenden des KIT und der RPTU Kaiserslautern‐Landau, alle Kundinnen und Kunden, Forschungspartnerinnen und -partner des IFOS und des KIT, sowie alle Mitglieder, Freunde und Gönner der DVG.
Die Kurse werden jeweils als Blockvorlesungen von 2x 90min an einem Nachmittag mit Start um 13 Uhr im großen Seminarraum am IFOS in der Trippstadter‐Straße 120, 67663 Kaiserslautern stattfinden.