Internationale Auszeichnung für das Nano Structuring Center der TU Kaiserslautern

Beim internationalen Raith Micrograph Award 2015 mit dem 3. Platz ausgezeichnete Mikrostruktur. Foto: TU Kaiserslautern

„Ring of Plasmonics“, so haben die beiden Mitarbeiter des Nano Structuring Centers (NSC) etwas scherzhaft die von ihnen geschaffene Mikrostruktur genannt, mit der sie kürzlich im internationalen Raith Micrograph Award 2015 den 3. Platz erlangen konnten. Doch hinter der Herstellung einer derartigen Mikrostruktur steht anspruchsvolle Technologie, die hier in einer echten Teamleistung von Dr. Bert Lägel und Dr. Thomas Löber angewendet wurde. Die Herausforderung war das Herstellen von plasmonischen Ringstrukturen in einer ebenen Metallschicht umgebenen von einem elliptischen Resonator. Die Prozessierung gelang durch Kombination zweier Lithografie-Arten aus dem Geräte- und Methodenpark des NSC: der Elektronenstrahl-Lithographie (System Raith eLine) und der Ionenstrahl-Lithographie (System FEI Helios NanoLab 650).

Der Preis wird alljährlich von der Fa. Raith, einem der Weltmarktführer auf dem Gebiet innovativer Lösungen für die Nanolithographie und Nanofabrikation ausgeschrieben. Der 1. Preis ging in diesem Jahr an die Yale University (U.S.A).

Das Nano Structuring Center der TU Kaiserslautern

Das Nano Structuring Center (NSC) bietet als Service-Center ein sehr breites methodisches Spektrum zur Mikro- und Nanofabrikation und Analytik. Es stellt der gesamten Universität einen Gerätepark im Werk von über 6 Mio. Euro und ein methodisches Know-how zur Verfügung, wie es für einzelne Arbeitsgruppen nicht vorhaltbar ist. Neben der Forschung steht das NSC auch für Lehre auf höchstem Niveau. Jährlich werden um die 30 Personen - vom Schülerpraktikanten über studentische Hiwis bis zu Postdocs - in die Reinraum- und Gerätenutzung eingewiesen und ergänzen so ihre Ausbildung um moderne experimentelle Labormethoden.

Eingerichtet im Jahre 2004, ist das NSC seit 2008 im Rahmen der Forschungsinitiative des Landes Rheinland-Pfalz an das Landesforschungszentrum Optik und Materialwissenschaften (OPTIMAS) angebunden. Es wird künftig im Neubau „Laboratory of Advanced Spin Engineering (LASE)“ der TU Kaiserslautern beheimatet sein.

Weitere Informationen:

Dr. Sandra Wolff, Nano Structuring Center der TU Kaiserslautern,
Tel. +49 631 205 4091, E-Mail: wolff[at]physik.uni-kl.de; Internet: www.nsc.uni-kl.de

Beim internationalen Raith Micrograph Award 2015 mit dem 3. Platz ausgezeichnete Mikrostruktur. Foto: TU Kaiserslautern