Neues Rasterelektronenmikroskop (REM) im Fachbereich Physik der TU Kaiserslautern

H. Fouckhardt et al. J. Appl. Phys. 107, 033301 (2010)

Kürzlich erreichte den Fachbereich der TU Kaiserslautern ein erfreulicher Förderbescheid: Im Frühjahr 2011 kann ein höchstauflösendes Rasterelektronenmikroskop (REM) mit kaltem Feldemitter angeschafft werden. Das Hightech-Gerät im Wert von 0,5 Mio. EUR wird zu je 50% von der Deutschen Forschungs­gemeinschaft (DFG) und dem Fachbereich Physik finanziert. Mit Hilfe des Gerätes können Aufnahmen von Proben mit einer Auflösung von 1 nm gemacht werden, das können auch nicht-leitfähige Proben sein. Das REM verfügt weiter über ein Energiedispersive Röntgenanalyse(EDX)-System zur Analyse der chemischen Zusammensetzung von Proben. 

Das REM wird durch Mitarbeiter des Nano+Bio Centers im Service-Betrieb betreut werden. 

H. Fouckhardt et al. J. Appl. Phys. 107, 033301 (2010)